山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備 A-52-STD:高效雙面電鍍解決方案
一、工作原理
山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備 A-52-STD 是一種先進(jìn)的電鍍?cè)O(shè)備,專為晶圓的雙面同時(shí)電鍍?cè)O(shè)計(jì)。設(shè)備采用的槳式攪拌器,通過(guò)攪拌晶圓的兩面,確保電鍍?nèi)芤壕鶆蚍植?,?shí)現(xiàn)高效的雙面電鍍。其工作原理基于電化學(xué)反應(yīng),在電鍍槽中,晶圓作為陰極,與陽(yáng)極支架配合,通過(guò)電鍍電源提供穩(wěn)定的電流,促進(jìn)金屬離子在晶圓表面沉積。同時(shí),設(shè)備配備加熱器和氣泵,可精確控制電鍍過(guò)程中的溫度和溶液流動(dòng),確保電鍍質(zhì)量。
二、技術(shù)參數(shù)